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基片表面傾斜及衍射對(duì)激光會(huì)聚原子沉積條紋的影響

張寶武，張超超，劉若男，王道檔，沈小燕，余桂英

（中國(guó)計(jì)量大學(xué)計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院，浙江 杭州３１００１８）

【摘要】目的：探究基片對(duì)激光會(huì)聚原子沉積的影響。方法：根據(jù)光學(xué)勢(shì)阱中原子運(yùn)動(dòng)的軌跡方程，對(duì)會(huì)聚場(chǎng)的光學(xué)勢(shì)阱、原子運(yùn)動(dòng)軌跡和沉積條紋等進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn)。結(jié)果：衍射式光學(xué)勢(shì)阱使原子軌跡提前會(huì)聚，進(jìn)而與傾斜角一起對(duì)沉積條紋的質(zhì)量參數(shù)產(chǎn)生了影響。在正傾時(shí)，隨著的增大，條紋半高寬增大，條紋峰值減小；在負(fù)傾斜時(shí)，隨著的增大，條紋半高寬保持不變，條紋峰值增大；同時(shí)隨著的增大，沉積條紋的峰值位置相對(duì)于波節(jié)的偏移量趨向單調(diào)增大。在非衍射條件下，偏移量增大４ｎｍ；在衍射條件下，偏移量增大１５ｎｍ。結(jié)論：由于衍射的存在，不管基片表面正傾斜還是負(fù)傾斜，基片表面上方沿著ｚ方向都會(huì)存在一個(gè)直邊衍射式的光學(xué)勢(shì)阱。

【關(guān)鍵詞】計(jì)量；激光會(huì)聚；光學(xué)勢(shì)能；衍射；傾斜度